真空氣氛爐，藍寶石退火爐

產品描述

藍寶石退火爐，是我公司新推出的一款用于晶棒、晶片新式退火爐。 該爐采用進口1900型硅鉬棒作為發熱體和本公司專利的氧化鋯內襯爐膛?？稍?700℃下連續使用，Z高溫度達1800℃。側開式爐門，易于樣品裝載，并可加裝通氣口，可在氧氣或惰性氣氛下操作殼體結構，爐膛內部溫度穩定度達±1℃，Z高溫度為1800℃。采用雙層殼體結構和51段程序控溫系統，移相觸發、可控硅控制，雙層爐殼間配有風冷系統，能快速升降溫，采用外殼整體密封、蓋板密封采用硅膠泥、爐門采用硅膠墊并通有水冷系統，氣體經過流量計后由后膛進出，有多處洗爐膛進氣口、出氣口處有燃燒嘴，可以通氫氣、氬氣、氮氣、氧氣、一氧化碳、氨分解氣等氣體，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點，是晶體材料退硬度用的理想產品。